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申请/专利权人：苏州六九新材料科技有限公司
摘要：本申请涉及粉末冶金材料的技术领域，具体公开了一种氧化铝靶材及其制备方法和应用。本申请公开的氧化铝靶材的制备方法，具体包括依次进行以下步骤：氧化铝原料粉末球磨预处理、冷等静压、热压、机加工、清洗后得到所述氧化铝靶材；所述冷等静压的参数条件为：压力为150‑250MPa，时间为5‑10min，得到氧化铝坯料；所述热压的参数条件为：温度1000‑1200℃，压力30‑40MPa，保温保压时间1‑2h。利用本申请提供的上述氧化铝靶材的制备方法，可以获得微观组织优异、致密度高和纯度高的氧化铝靶材。
主权项：1.一种氧化铝靶材的制备方法，其特征在于，具体包括依次进行以下步骤：氧化铝原料粉末球磨预处理、冷等静压、热压、机加工、清洗后得到所述氧化铝靶材；所述冷等静压的参数条件为：压力为150-250MPa，时间为5-10min，得到氧化铝坯料；所述热压的参数条件为：温度1000-1200℃，压力30-40MPa，保温保压时间1-2h。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州六九新材料科技有限公司 一种氧化铝靶材及其制备方法和应用
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