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申请/专利权人：合肥江丰电子材料有限公司
摘要：本发明提供一种钛靶材的加工方法，所述加工方法包括如下步骤：1采用R245刀具对钛靶材的焊接面进行第一铣削处理；2采用R245刀具对步骤1处理后的钛靶材的溅射面进行第二铣削处理；3采用D20刀具铣削步骤2处理后的钛靶材的外形轮廓；4采用R3.5刀具铣削步骤3处理后的钛靶材的R角，完成钛靶材的加工。本发明所述的加工方法通过采用特定的刀具并结合特定的刀具参数依次处理加工钛靶材的焊接面、溅射面、外形轮廓和R角，加工处理后的钛靶材表面的残余应力小，平面度高，形变量小，适合大规模推广。
主权项：1.一种钛靶材的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括如下步骤：1采用R245刀具对钛靶材的焊接面进行第一铣削处理；2采用R245刀具对步骤1处理后的钛靶材的溅射面进行第二铣削处理；3采用D20刀具铣削步骤2处理后的钛靶材的外形轮廓；4采用R3.5刀具铣削步骤3处理后的钛靶材的R角，完成钛靶材的加工。
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百度查询： 合肥江丰电子材料有限公司 一种钛靶材的加工方法
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