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申请/专利权人：中山大学
摘要：本发明涉及一种基于硫系相变F‑P谐振腔的空间光场相位调制器件及方法。相位调制器件由下至上依次包括：介质衬底、反射层、介质共振波长调整层、硫系相变有源层、分布式布拉格反射器。由于硫系相变材料在相变过程中的折射率对比度较大，可以用介质共振波长调整层代替部分硫系相变有源层，压缩作为有源材料的硫系相变有源层的厚度，从而降低器件的驱动功耗，提高器件的调制速率；本发明提供的调制期间制备工艺流程只涉及薄膜生长，不涉及微纳结构的加工工艺，制备流程较为简单。
主权项：1.一种基于硫系相变F-P谐振腔的空间光场相位调制器件，其特征在于，由下至上依次包括：介质衬底、反射层、介质共振波长调整层、硫系相变有源层、分布式布拉格反射器；所述反射层提供反射空间光场的作用，所述分布式布拉格反射器提供半反半透作用，同时作为F-P谐振腔的腔体介质；所述硫系相变有源层充当F-P谐振腔的腔体介质；其中，用所述介质共振波长调整层代替部分硫系相变有源层以压缩所述硫系相变有源层的厚度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中山大学 一种基于硫系相变F-P谐振腔的空间光场相位调制器件及制备方法
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