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一种基于激光扫描的面板修复装置和系统 

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申请/专利权人:季华实验室

摘要:本申请涉及OLED激光修复技术领域,具体而言,涉及一种基于激光扫描的面板修复装置和系统,用于对OLED面板上的缺陷进行修复,包括依照激光光路依次设置的多波长激光光源、线激光整形镜头、多面体扫描器、扫描场镜和光斑投影组件。本申请的基于激光扫描的面板修复装置能解决现有用于大尺寸OLED面板修复的激光扫描方法无法兼具修复效率高、光斑尺寸可调范围大、光学系统简单、装配调试要求低、扫描精度高和扫描效率高的效果的问题,从而能达到修复效率高、光斑尺寸可调范围大、光学系统简单、装配调试要求低、扫描精度高和扫描效率高的效果。

主权项:1.一种基于激光扫描的面板修复装置,用于对OLED面板(20)上的缺陷进行修复,其特征在于,包括依照激光光路依次设置的多波长激光光源(1)、线激光整形镜头(2)、多面体扫描器(3)、扫描场镜(4)和光斑投影组件(5);所述多波长激光光源(1)用于发射激光;所述线激光整形镜头(2)用于将所述多波长激光光源(1)发射的激光整形为线激光,所述线激光的长度在预设范围内连续可调;所述多面体扫描器(3)用于在其转动时基于其侧面反射所述线激光以形成面型激光;所述扫描场镜(4)用于将所述面型激光聚焦为光斑;所述光斑投影组件(5)用于将所述光斑投影到OLED面板(20)上缺陷所在的位置。

全文数据:

权利要求:

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