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申请/专利权人：FEI公司
摘要：用于低温电子显微镜的样品制备方法和装置。提供了各种方法和装置来寻找用于低温电子显微镜的样品的最佳样品条件。可使用样品检查装置筛选具有不同样品条件的多个样品。所述样品检查装置包括形成在顶部电子透明层与底部电子透明层之间的至少一个室，其用于固持所述样品。所述室内布置有多个柱。所述样品检查装置包括覆盖所述多个柱中的至少一个的窗口。
主权项：1.一种样品检查装置，其包含：形成在顶部电子透明层与底部电子透明层之间的第一室，其用于固持第一样品；形成在所述顶部电子透明层与所述底部电子透明层之间的第二室，其用于固持第二样品；并且其中窗口覆盖所述第二室的一部分，用于检查所述第二室中的所述第二样品，其中，所述第一室和所述第二室通过壁在装置的上游流体分隔并且在所述装置的下游流体连接，使得所述第一样品和所述第二样品在混合区域中向下游混合；所述第一室内的多个柱，所述多个柱中的每个柱从所述顶部电子透明层延伸到所述底部电子透明层；和形成有所述顶部电子透明层与所述底部电子透明层中的至少一个的一部分的窗口，其用于检查所述第一室中的所述第一样品，所述窗口覆盖所述多个柱中的至少一个并且所述多个柱中的所述至少一个为所述窗口提供机械强度和坚固性。
全文数据：
权利要求：
百度查询： FEI公司 用于低温电子显微镜的样品制备方法和装置
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