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申请/专利权人：西安航天计量测试研究所
摘要：本发明公开的扫描探针显微镜微管球探针及其制备方法、应用，其中制备方法具体按照以下步骤实施：步骤1，选取玻璃微管，通过热拉成型形成锥形毛细玻璃管；步骤2，对毛细玻璃管进行微管切割形成微管轴；步骤3，将热固性树脂涂覆于微管轴尖端，微管轴将热固性树脂吸附至微管轴内部；步骤4，向填充热固性树脂的微管轴的一端粘接玻璃微球，然后进行加热固化，形成扫描探针显微镜微管球探针。制备的扫描探针显微镜微管球探针在狭窄间隙宽度测量中进行应用。本发明通过制备得到的探针可以用于小于100μm的间隙宽度测量。
主权项：1.扫描探针显微镜微管球探针的制备方法，其特征在于，具体按照以下步骤实施：步骤1，选取玻璃微管，通过热拉成型形成锥形毛细玻璃管1；步骤2，对毛细玻璃管1进行微管切割形成微管轴5；步骤3，将热固性树脂4涂覆于微管轴5尖端，微管轴5将热固性树脂4吸附至微管轴5内部；步骤4，向填充热固性树脂4的微管轴5的一端粘接玻璃微球7，然后进行加热固化，形成扫描探针显微镜微管球探针。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安航天计量测试研究所 扫描探针显微镜微管球探针及其制备方法、应用
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