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申请/专利权人：武汉海微科技股份有限公司
摘要：本实用新型涉及一种柔性探针检测装置,属于检测技术领域，包括气缸、固定板、检测块、弹性组件和等高螺丝，所述气缸与所述固定板固定连接，所述等高螺丝的一端与所述检测块固定连接，所述等高螺丝的另一端滑动穿过所述固定板并具有限位部，所述限位部与所述固定板抵接或者远离，所述弹性组件的两端分别与所述固定板和所述检测块连接，并对所述检测块施加使其远离所述固定板的弹性力，目的是降低探针损耗率，降低成本。
主权项：1.一种柔性探针检测装置，其特征在于，包括气缸1、固定板2、检测块5、弹性组件和等高螺丝4，所述气缸1与所述固定板2固定连接，所述等高螺丝4的一端与所述检测块5固定连接，所述等高螺丝4的另一端滑动穿过所述固定板2并具有限位部，所述限位部与所述固定板2抵接或者远离，所述弹性组件的两端分别与所述固定板2和所述检测块5连接，并对所述检测块5施加使其远离所述固定板2的弹性力。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉海微科技股份有限公司 一种柔性探针检测装置
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