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申请/专利权人：苏州衡微仪器科技有限公司

摘要：本发明公开了一种扫描探针显微镜，包括机架、用于吊挂机架的弹性件、可在竖直平面内沿Z向往复移动的设于机架上的探针、可在水平面内分别沿X向和Y向往复移动的设于机架上的且位于探针下方的样品台、可三轴移动（X向、Y向和Z向）的设于机架上的安装组件、设于安装组件中的且位于探针上方的反射镜、可三轴移动的设于机架上的且连接在安装组件上的位移调节组件；位移调节组件、反射镜、探针同轴延伸，位移调节组件中开设有用于让光线自下而上穿过并照射反射镜的中空间隙；显微镜还包括设于中空间隙下方的光电探测器。本发明扫描探针显微镜，通过将控制反射镜移动的位移调节组件同轴设于反射镜下方，使显微镜重心居中，测量精度较高。

主权项：1.一种扫描探针显微镜，其特征在于：包括机架、用于吊挂所述机架的弹性件、可在竖直平面内沿Z向往复移动的设于所述机架上的探针、可在水平面内分别沿X向和Y向往复移动的设于所述机架上的且位于所述探针下方的样品台、可沿X向、Y向和Z向三轴移动的设于所述机架上的安装组件、设于所述安装组件中的且位于所述探针上方的反射镜、可三轴移动的设于所述机架上的且连接在所述安装组件上的位移调节组件；所述位移调节组件、所述反射镜、所述探针同轴延伸，所述位移调节组件中开设有用于让光线自下而上穿过并照射所述反射镜的中空间隙；还包括设于所述中空间隙下方的光电探测器；所述机架包括设于其下部的筒体，所述位移调节组件包括同轴套设于所述筒体上的套体、套设于所述套体上的且可相对所述套体分别沿X向和Y向往复移动的环形载板、用于驱动所述套体相对所述筒体沿Z向往复移动的第一驱动件、用于驱动所述环形载板相对所述套体分别沿X向和Y向往复移动的第二驱动件；所述安装组件连接在所述环形载板上，所述光电探测器设于所述筒体下方；所述第一驱动件包括三个沿圆周方向间隔均匀的绕设于所述套体和所述筒体之间的第一压电陶瓷、依次连接在其中一个所述第一压电陶瓷和所述套体之间的抵压件、簧片、第一压紧件，三个所述第一压电陶瓷均固定在所述筒体上；所述位移调节组件还包括设于所述套体上的且位于所述环形载板下方的下支撑板、套设于所述套体上的且位于所述环形载板上方的上支撑板；所述第二驱动件包括三个沿圆周方向间隔均匀的绕设于所述环形载板和所述下支撑板之间的下压电陶瓷、三个沿圆周方向间隔均匀的绕设于所述环形载板和所述上支撑板之间的且一一对应的位于所述下压电陶瓷上方的上压电陶瓷；所述位移调节组件还包括设于所述套体上的用于一一对应的将所述上压电陶瓷向下压紧的第二压紧件；所述位移调节组件还包括设于所述第二压紧件和所述上支撑板之间的弹性承压板、开设于所述上支撑板上表面的用于为所述弹性承压板提供形变空间的上凹坑。

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