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申请/专利权人:镭友芯科技(苏州)有限公司
摘要:本发明公开了一种光探测器件及其制备方法,步骤S1:提供一形成有读出电路阵列的基板,阵列中的每一个读出电路的单元对应一个像素单元;步骤S2:在基板的读出电路阵列上形成电子传输层阵列;步骤S3:在像素单元之间形成隔离墙;步骤S4:在隔离墙之间填充光电转化层阵列;步骤S5:在光电转化层阵列上方形成透明公共电极层阵列,通过先行成像素墙,利用加工工艺形成光电像素点,节省材料,降低成本,提高器件性能。
主权项:1.一种光探测器件的制备方法,其特征在于,包括:步骤S1:提供一形成有读出电路阵列的基板,阵列中的每一个读出电路的单元对应一个像素单元;步骤S2:在基板的读出电路阵列上形成电子传输层阵列;步骤S3:在像素单元之间形成金属材质的隔离墙;步骤S4:在隔离墙之间填充光电转化层阵列;步骤S5:在光电转化层阵列上方形成透明公共电极层阵列。
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