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摘要：直接测量穿过具有超出衍射极限的分辨率的双折射装置212的光束的光学剪切角和横向位移的方法和系统。用于测量剪切角的系统包括照射模块310、偏振控制单元209或偏振器309、所述双折射装置212、透镜模块215和用于记录光强度分布的数据获取模块218。当使用偏振控制单元209时，控制来自照射模块310的输入光束201的偏振，使得可以在不同的帧处分别记录具有正交偏振的两个光点206，207。当使用偏振器309时，在具有来自照射模块310的输入光束201的混合偏振的情况下，偏振器309被放置在数据获取模块218前方以在不同的帧处分别记录具有正交偏振的两个光点206，207。然后应用定位分析确定具有垂直偏振的两个光点206，207的中心位置，并且计算横向剪切光束之间的剪切角位移的值。该方法能够解决剪切角位移超出光衍射极限的问题。
主权项：1.一种用于测量双折射装置的剪切角的方法，包括：将光束投射在所述双折射装置上；在所述双折射装置后方分出两个正交偏振输出光束，所述两个正交偏振输出光束以剪切角进入两个不同方向，所述两个正交偏振输出光束是第一偏振光束和第二偏振光束；使用透镜系统使所述两个正交偏振输出光束聚焦；在所述透镜系统后方、所述光束被聚焦到的位置处放置光强度分布记录装置；利用所述第一偏振光束在所述光强度分布记录装置中记录第一帧；使用定位分析确定所述第一帧中的光强度分布的第一中心位置；利用所述第二偏振光束在所述记录装置中记录第二帧；使用定位分析确定所述第二帧中的光强度分布的第二中心位置；计算所述第一中心位置与所述第二中心位置之间的间隔距离；以及根据所述间隔距离和所述透镜系统的焦距计算所述剪切角。
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百度查询： 光原创新科技有限公司 用于测量超出衍射极限的双折射装置的光学剪切的方法和系统
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