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用于测量超出衍射极限的双折射装置的光学剪切的方法和系统 

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申请/专利权人:光原创新科技有限公司

摘要:直接测量穿过具有超出衍射极限的分辨率的双折射装置212的光束的光学剪切角和横向位移的方法和系统。用于测量剪切角的系统包括照射模块310、偏振控制单元209或偏振器309、所述双折射装置212、透镜模块215和用于记录光强度分布的数据获取模块218。当使用偏振控制单元209时,控制来自照射模块310的输入光束201的偏振,使得可以在不同的帧处分别记录具有正交偏振的两个光点206,207。当使用偏振器309时,在具有来自照射模块310的输入光束201的混合偏振的情况下,偏振器309被放置在数据获取模块218前方以在不同的帧处分别记录具有正交偏振的两个光点206,207。然后应用定位分析确定具有垂直偏振的两个光点206,207的中心位置,并且计算横向剪切光束之间的剪切角位移的值。该方法能够解决剪切角位移超出光衍射极限的问题。

主权项:1.一种用于测量双折射装置的剪切角的方法,包括:将光束投射在所述双折射装置上;在所述双折射装置后方分出两个正交偏振输出光束,所述两个正交偏振输出光束以剪切角进入两个不同方向,所述两个正交偏振输出光束是第一偏振光束和第二偏振光束;使用透镜系统使所述两个正交偏振输出光束聚焦;在所述透镜系统后方、所述光束被聚焦到的位置处放置光强度分布记录装置;利用所述第一偏振光束在所述光强度分布记录装置中记录第一帧;使用定位分析确定所述第一帧中的光强度分布的第一中心位置;利用所述第二偏振光束在所述记录装置中记录第二帧;使用定位分析确定所述第二帧中的光强度分布的第二中心位置;计算所述第一中心位置与所述第二中心位置之间的间隔距离;以及根据所述间隔距离和所述透镜系统的焦距计算所述剪切角。

全文数据:

权利要求:

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