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半导体器件和用于分离具有PN结的半导体器件的方法 

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申请/专利权人:弗劳恩霍夫应用研究促进协会

摘要:本发明涉及一种半导体器件1a、1b,具有正面和相对的背面以及侧面,以及具有至少一个发射极2a、2b和至少一个基极3a、3b,其中,在发射极2a、2b和基极3a、3b之间构成pn结4a、4b,并且发射极2a、2b平行于正面和或背面延伸。重要的是,至少一个侧面是钝化的分离面T,在所述分离面上设置有分离面钝化层6a、6b,所述分离面钝化层具有位置固定的电荷,所述电荷在分离面T上具有数值上大于或等于1012cm‑2的电荷面密度。本发明还涉及一种用于分离具有pn结的半导体器件1a、1b的方法。

主权项:1.半导体器件1a、1b,具有正面和相对的背面以及侧面,以及具有至少一个发射极2a、2b和至少一个基极3a、3b,在所述发射极2a、2b和所述基极3a、3b之间构成pn结4a、4b,并且所述发射极2a、2b平行于所述正面和或所述背面延伸,其特征在于,至少一个侧面是钝化的分离面T,所述分离面上设置有分离面钝化层6a、6b,所述分离面钝化层具有位置固定的电荷,所述电荷在分离面T上具有数值上大于或等于1012cm-2的电荷面密度,所述pn结4a、4b与所述分离面T邻接。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 半导体器件和用于分离具有PN结的半导体器件的方法

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