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申请/专利权人：四川海格锐特科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种真空磁控溅射贵金属薄膜镀制设备,属于真空磁控溅射技术领域，包括箱体，所述箱体的外侧固定有电机，所述电机的输出端穿过箱体的外侧延伸至内部并固定有第一安装板，所述箱体的内侧设有第二安装板，所述第二安装板的上下两侧均设有第一托板，所述第二安装板的前后两侧均设有第二托板，两个所述第一托板与两个第二托板的内部均滑动连接有两个光轴，所述光轴的一端与第一安装板的外侧固定连接，所述第一安装板与第一托板和第二托板之间均固定有两个弹簧。本实用新型解决了现有的真空磁控溅射贵金属薄膜镀制设备，往往一次性只能镀制一面，需要通过人工翻面的方式，镀制另一面，费时费力的问题。
主权项：1.一种真空磁控溅射贵金属薄膜镀制设备，包括箱体1，其特征在于：所述箱体1的外侧固定有电机2，所述电机2的输出端穿过箱体1的外侧延伸至内部并固定有第一安装板3，所述箱体1的内侧设有第二安装板4，所述第二安装板4的上下两侧均设有第一托板5，所述第二安装板4的前后两侧均设有第二托板6，两个所述第一托板5与两个第二托板6的内部均滑动连接有两个光轴7，所述光轴7的一端与第一安装板3的外侧固定连接，所述光轴7的另一端与第二安装板4的外侧固定连接，所述第一安装板3与第一托板5和第二托板6之间均固定有两个弹簧8，所述电机2的输出轴外侧同轴固定有第一传动轮9，所述第一传动轮9的外侧摩擦传动有传动带10，所述传动带10的内侧摩擦传动有第二传动轮11，所述第二传动轮11的内侧同轴固定有传动轴12，所述传动轴12的两端均与箱体1的内侧转动连接，所述传动轴12的外侧同轴固定有凸轮13，所述箱体1的内侧顶部固定有导轨14，所述导轨14的内侧滑动连接有滑动块15，所述滑动块15的一侧固定有滑块16，所述滑块16远离滑动块15的一侧固定有电推杆17。
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权利要求：
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