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用于电子级亚微米球形硅微粉生产的防积碳球化炉 

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申请/专利权人:江苏联瑞新材料股份有限公司

摘要:本发明涉及球形硅微粉生产技术领域,具体地说,涉及用于电子级亚微米球形硅微粉生产的防积碳球化炉。包括升降机构、球化机构和收集机构,升降机构升降连接在球化机构上表面,球化机构包括熔融组、定量导向组、引风组和调节组,熔融组上表面与升降机构同步升降连接,熔融组下表面两侧连接有连接杆,定量导向组通过连接杆与熔融组下表面升降接触,引风组上表面与定量导向组升降套接接触,引风组表面四周连接有卡块,调节组表面四周连接有伸缩弹簧,调节组通过卡块升降运动,带动伸缩弹簧拉伸运动,使调节组在引风组下表面四周展开。开合板与球化孔位置相对应,在开合板打开后,便可将熔融冷却后的球化硅微粉掉落到出料管,最后在回收桶存储。

主权项:1.用于电子级亚微米球形硅微粉生产的防积碳球化炉,其特征在于:包括升降机构(100)、球化机构(200)和收集机构(300),所述升降机构(100)升降连接在球化机构(200)上表面,所述球化机构(200)包括熔融组、定量导向组、引风组和调节组,所述熔融组上表面与所述升降机构(100)同步升降连接,所述熔融组下表面两侧连接有连接杆(213),所述定量导向组通过所述连接杆(213)与熔融组下表面升降接触,所述引风组上表面与所述定量导向组升降套接接触,所述引风组表面四周连接有卡块(217),所述调节组表面四周连接有伸缩弹簧(225),所述调节组通过所述卡块(217)升降运动,带动所述伸缩弹簧(225)拉伸运动,使所述调节组在引风组下表面四周展开。

全文数据:

权利要求:

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