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表面发射激光器及表面发射激光器的制备方法 

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申请/专利权人:索尼集团公司

摘要:本技术提供了具有电流限制区域的表面发射激光器,利用电流限制区域可以在抑制制造成本的增加同时实现输出增加。根据本技术的表面发射激光器包括彼此堆叠的第一和第二反射镜106,107以及设置在第一和第二反射镜106,107之间的中间部分MP。中间部分MP具有堆叠有多个半导体结构SS1至SS3的堆叠结构LS,半导体结构SS1至SS3中的每一个包括各自作为中间层彼此堆叠的有源层102‑1至102‑3和隧道结层104‑1至104‑3。在半导体结构SS1至SS3的至少一个中,至少隧道结层104‑1至104‑3在其外围部分中比在其中心部分中具有更高的电阻。根据本技术的表面发射激光器,可以提供具有电流限制区域的表面发射激光器,利用电流限制区域可以在抑制制造成本的增加同时实现输出增加。

主权项:1.一种表面发射激光器,包括:相互层压的第一反射镜和第二反射镜;以及中间部分,布置在所述第一反射镜与所述第二反射镜之间,其中,所述中间部分具有通过层压包括作为中间层的相互层压的有源层和隧道结层中的每一个的多个半导体结构而形成的层压结构,并且至少一个所述半导体结构的至少所述隧道结层的外围部分的电阻比中心部分的电阻更高。

全文数据:

权利要求:

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