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基于多源数据融合的晶体降温过程监控系统及方法 

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申请/专利权人:青岛华芯晶电科技有限公司;山西鼎芯晶体材料有限公司

摘要:本发明公开了基于多源数据融合的晶体降温过程监控系统及方法,属于一般的控制系统领域,本发明将设定周期内的图像异常分析变化结果导入降温梯度异常分析模型中进行降温梯度异常分析,根据得到的降温梯度异常分析结果导入实际降温梯度分析模型中得到实际降温梯度,根据得到的实际降温梯度进行降温过程中降温梯度的调节,通过对降温过程中的晶体图像进行异常评估,从而对降温过程中的晶体质量随温度变化情况进行分析,通过综合降温过程中的晶体质量情况和降温安全性对需要的降温梯度进行准确计算分析,提高了降温过程中晶体质量的同时,保证了降温过程中的安全性。

主权项:1.基于多源数据融合的晶体降温过程监控方法,其特征在于,其包括以下具体步骤:实时获取降温过程中的晶体图像,同时获取晶体降温过程中的温度变化梯度;获取设定时间段内的晶体图像,将获取的晶体图像导入图像异常分析模型中进行图像异常分析;将设定周期内的图像异常分析变化结果导入降温梯度异常分析模型中进行降温梯度异常分析;根据得到的降温梯度异常分析结果导入实际降温梯度分析模型中得到实际降温梯度;根据得到的实际降温梯度进行降温过程中降温梯度的调节。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 青岛华芯晶电科技有限公司 山西鼎芯晶体材料有限公司 基于多源数据融合的晶体降温过程监控系统及方法

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