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申请/专利权人：中国科学院微电子研究所
摘要：本发明提供一种沉积速率预测方法及装置、存储介质及电子设备，该方法包括：确定各个第一工艺参数、第二工艺参数和第三工艺参数的参数值；将第一工艺参数的参数值输入其对应的第一预测模型，获取模型输出的预测值，第一预测模型为基于线性关系构建的模型；将第二工艺参数的参数值输入其对应的第二预测模型，获取模型输出的预测值，第二预测模型为基于幂函数关系构建的模型；将各个第三工艺参数的参数值输入基于神经网络构建的第三预测模型，获取模型输出的预测值；对各个预测值进行乘积运算，将运算结果作为沉积速率的预测结果。应用本发明的方法，各预测模型不涉及大量理想假设和经验参数，预测精度较高，可提高沉积速率的预测准确度。
主权项：1.一种沉积速率预测方法，其特征在于，包括：确定工艺参数集合；所述工艺参数集合包括多个第一工艺参数的参数值、多个第二工艺参数的参数值以及多个第三工艺参数的参数值；确定每个所述第一工艺参数对应的第一预测模型；每个所述第一预测模型为基于其对应的第一工艺参数与沉积速率之间的线性关系构建的模型；确定每个所述第二工艺参数对应的第二预测模型；每个所述第二预测模型为基于其对应的第二工艺参数与沉积速率之间的幂函数关系构建的模型；对于每个所述第一工艺参数，将该第一工艺参数的参数值输入该第一工艺参数对应的第一预测模型，并获取该第一预测模型输出的预测值；对于每个所述第二工艺参数，将该第二工艺参数的参数值输入该第二工艺参数对应的第二预测模型，并获取该第二预测模型输出的预测值；将各个所述第三工艺参数的参数值输入预先构建的第三预测模型，并获取所述第三预测模型输出的预测值；所述第三预测模型为基于神经网络构建的模型；对各个所述第一预测模型输出的预测值、各个所述第二预测模型输出的预测值以及所述第三预测模型输出的预测值进行乘积运算，将运算结果作为沉积速率的预测结果。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院微电子研究所 沉积速率预测方法及装置、存储介质及电子设备
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