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申请/专利权人：北京航空航天大学
摘要：本发明公开了一种水下流速传感器及其工作方法，涉及水下流速测量技术领域，该传感器包括均具有电极，且上下交错布置的上层基板和下层基板，上层基板一端开设有凹槽；扭转组件包括扭转梁、翘板和纤毛，扭转组件设置于上层基板一端的凹槽正上方，扭转组件与上层基板之间以沟槽隔开，能够绕扭转梁扭转，扭转梁与上层基板长度方向的轴线重合；纤毛底部固定于扭转梁上；两个加热器分别固定于扭转组件的翘板两端，且能够跟随扭转组件同步扭转；上层基板上的两个传感器分别位于扭转组件外侧，与加热器相邻；两个传感器分别外接有电桥电路。基于本发明水下流速传感器的工作方法，既能够适用于低流速测量，也能够适用于高流速测量。
主权项：1.一种水下流速传感器，其特征在于：包括：基板，所述基板包括上下交错布置的上层基板和下层基板，且所述上层基板和下层基板上均设有电极；凹槽，所述凹槽开设于上层基板一端，且位于上层基板和下层基板交错位置处；扭转组件，包括扭转梁、翘板和纤毛，所述扭转组件设置于上层基板一端的凹槽正上方，扭转组件与上层基板之间以沟槽隔开，能够绕扭转梁扭转，所述扭转梁与上层基板长度方向的轴线重合；所述纤毛底部固定于所述扭转梁上，所述纤毛摆动时，能够驱动所述扭转组件同步扭转；加热器，两个所述加热器分别固定于所述扭转组件的翘板两端，且能够跟随所述扭转组件同步扭转；传感器，所述上层基板和下层基板上均分别设有两个所述传感器；所述上层基板上的两个所述传感器分别位于所述扭转组件外侧，与位于同侧的加热器相邻；且所述上层基板上的两个所述传感器通过上层基板的电极外接有一电桥电路；所述下层基板上的两个所述传感器分别位于两个所述加热器正下方，且位于凹槽底部；且所述下层基板上的两个所述传感器通过下层基板的电极外接有另一电桥电路。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京航空航天大学 一种水下流速传感器及其工作方法
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