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申请/专利权人：上海果纳半导体技术有限公司
摘要：本发明公开了一种轨道组件及具有其的天车系统，轨道组件包括轨道、挡板、往复封闭部、直通封闭部和第一连接件，轨道开设有位于行走轮外侧的轨道插槽；挡板沿轨道的长度方向延伸，挡板具有插接部和立板部，插接部与轨道插槽插接，立板部自插接部向上延伸并远离轨道，立板部的下端具有在轨道插槽的宽度方向上大于轨道插槽的根部；往复封闭部位于插接部与轨道插槽之间；直通封闭部与往复封闭部相连，且位于根部与轨道的插接面之间；第一连接件具有与轨道的外侧面相连接的第一连接部和位于第一连接部上方的第二连接部，第二连接部与挡板相适配。本发明的轨道组件及天车系统能有效抑制微粒向半导体制造工厂内扩散，提高了工厂的清洁度。
主权项：1.一种轨道组件，其特征在于，包括：轨道，所述轨道用于天车的行走轮行走，所述轨道开设有位于所述行走轮外侧的轨道插槽；挡板，所述挡板沿所述轨道的长度方向延伸，所述挡板具有插接部和立板部，所述插接部与所述轨道插槽插接，所述立板部自所述插接部向上延伸并远离所述轨道，所述立板部的下端具有在所述轨道插槽的宽度方向上大于所述轨道插槽的根部；往复封闭部，所述往复封闭部位于所述插接部与所述轨道插槽之间；直通封闭部，所述直通封闭部与所述往复封闭部相连，且位于所述根部与所述轨道的插接面之间；第一连接件，所述第一连接件具有与所述轨道的外侧面相连接的第一连接部和位于所述第一连接部上方的第二连接部，所述第二连接部与所述挡板相适配。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海果纳半导体技术有限公司 轨道组件及具有其的天车系统
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