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利用压电效应提供驱动电压的MOSCAP调制器系统 

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申请/专利权人:湖北九峰山实验室

摘要:本发明提供利用压电效应提供驱动电压的MOSCAP调制器系统,能够实现无外加电源的自驱动,包括:压电摩擦纳米发电结构,包括静电材料、压电材料、连接于静电材料和压电材料之间充当平板电容的缓冲层、与静电材料连接的金属电极‑P电极、透明电极‑N电极、连接于压电材料和透明电极‑N电极之间的键合层;以及基于金属氧化物半导体电容器的微环调制器,包括与透明电极‑N电极远离中间压电材料一面连接的绝缘介质层、基于SOI衬底的脊形波导、与脊形波导连接的平板层硅重掺杂区;透明电极‑N电极同时作为微环调制器的上电极,平板层硅重掺杂区作为微环调制器的下电极;下电极连接一接触电极,接触电极为金属电极。

主权项:1.利用压电效应提供驱动电压的MOSCAP调制器系统,其特征在于,能够实现无外加电源的自驱动,包括:压电摩擦纳米发电结构PTENG,包括静电材料、压电材料、连接于静电材料和压电材料之间充当平板电容的缓冲层、与静电材料连接的金属电极-P电极、透明电极-N电极、连接于压电材料和透明电极-N电极之间的键合层;以及基于金属氧化物半导体电容器的MOSCAP微环调制器,包括与透明电极-N电极远离中间压电材料一面连接的绝缘介质层、基于SOI衬底的脊形波导、与脊形波导连接的平板层硅重掺杂区;所述透明电极-N电极同时作为微环调制器的上电极,透明电极材料通过沉积工艺沉积在绝缘介质层上,平板层硅重掺杂区作为微环调制器的下电极;所述下电极连接一接触电极,所述接触电极为金属电极。

全文数据:

权利要求:

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