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基于外置推扫的显微干涉成像光谱装置及实现方法 

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申请/专利权人:上海交通大学

摘要:本发明提供了一种基于外置推扫的显微干涉成像光谱装置及实现方法,将处于照明视场的观测目标经无限远共轭显微物镜成像后以平行光入射横向剪切干涉模块,由横向剪切干涉模块得到的两束相互平行的光线,经成像镜头内的傅里叶透镜组,在面阵相机上产生干涉条纹;以无运动部件的空间干涉显微成像光路为基础,通过电动载物台带动样品位移实现直线推扫显微成像,获得连续时间分布的干涉图像序列,在干涉图像序列中提取每幅图像中观测目标对应的光强,重新组合成观测目标的干涉信息,然后利用计算单元对该干涉信息进行傅里叶变换计算,反演得到观测目标的光谱信息。该装置的干涉模块内部部件无位移,确保高光谱显微成像装置长期运行的稳定性和可靠性。

主权项:1.一种基于外置推扫的显微干涉成像光谱装置,其特征在于,包括:光源1、聚光镜2、电动载物台3、显微物镜4、横向剪切分束器5、第一平面反射镜6、第二平面反射镜7、电动平面反射镜8、成像镜头9、面阵相机10和计算单元11;聚光镜2将光源1射出的光束转换为平行光束,均匀照射电动载物台3上的样本,显微物镜4将样本的辐射光束转换成平行光束,射入Sagnac干涉装置的横向剪切分束器5,横向剪切分束器5将入射光束横向剪切为反射与透射两束平行的相干光;Sagnac干涉装置模块中有三个平面反射镜,分别定义为第一平面反射镜6、第二平面反射镜7与电动平面反射镜8,其中第一平面反射镜6放置在横向剪切分束器5的反射光路中,第二平面反射镜7位于横向剪切分束器5的透射光路中;电动平面反射镜8与计算单元11相连,放置在横向剪切分束器5透射光路后,并在第二平面反射镜7前;成像镜头9为傅里叶透镜组,放置在Sagnac干涉装置的出射光线后,用于将Sagnac干涉装置中透射和反射的两路光束进行干涉成像;面阵相机10放置在成像镜头9的焦平面上,用来接受在焦平面上形成的干涉条纹图像;计算单元11与面阵相机10相连,对面阵相机10接收的干涉图像序列进行数据处理与傅里叶变换,反演得到观测目标的光谱信息。

全文数据:

权利要求:

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