龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：深圳市芥子精研科技有限公司
摘要：本发明公开了一种真空镀膜机，属于真空镀膜技术领域，包括：由内壁和外壁组成的环形主腔体，所述环形主腔体的外壁开设有矩形槽体，矩形槽体的一侧安装有封堵件；环形主腔体的内部设有转动组件；所述环形主腔体的内部安装有多个靶材模块，所述环形主腔体的外部通过安装板连接有分子泵，所述环形主腔体的外部安装有ICP模块，所述分子泵和ICP模块均通过管道与环形主腔体的内部相连通；本发明将分子泵和靶材模块通过管道连接于环形主腔体的内部，有利于真空度的控制和结构的紧凑性，同时可以提高生产的灵活性，允许同时或交替沉积不同的材料，放置在治具上的产品在转架的带动下转动，这样有助于自动化镀膜过程，提高生产效率。
主权项：1.一种真空镀膜机，其特征在于，包括：由内壁和外壁组成的环形主腔体10，所述环形主腔体10的外壁开设有矩形槽体，矩形槽体的一侧安装有封堵件；环形主腔体10的内部设有转动组件；所述环形主腔体10的内部安装有多个靶材模块11，所述环形主腔体10的外部通过安装板13连接有分子泵12，所述环形主腔体10的外部安装有ICP模块14，所述分子泵12和ICP模块14均通过管道与环形主腔体10的内部相连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市芥子精研科技有限公司 一种真空镀膜机
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号