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申请/专利权人：杭州积海半导体有限公司
摘要：本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种监测探针卡针痕偏移的测试结构、方法及可读存储介质，测试结构包括至少两个间距分布的测试单元，测试单元包括至少两个金属焊垫及至少一个测试电阻，同一个测试单元的每两个相邻的金属焊垫之间连接有一个测试电阻。由于相邻两个测试单元之间具有间距，相当于两个测试单元的金属焊垫之间为断路，而同一个测试单元相邻的两个金属焊垫之间连接有测试电阻，故通过探针卡对每两个相邻的金属焊垫之间的阻值进行遍历测试，根据测得的阻值即可判断探针卡的针痕是否发生偏移。并且，通过监测探针卡的针痕是否发生偏移，能够监测探针台在测试过程中的机械移动是否出错，从而避免晶圆被扎报废。
主权项：1.一种监测探针卡针痕偏移的测试结构，其特征在于，包括至少两个间距分布的测试单元，所述测试单元包括至少两个金属焊垫及至少一个测试电阻，同一个所述测试单元的每两个相邻的所述金属焊垫之间连接有一个所述测试电阻。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州积海半导体有限公司 监测探针卡针痕偏移的测试结构、方法及可读存储介质
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