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非接触式测量镜片中厚和矢高的装置及方法 

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申请/专利权人:宁波舜宇红外技术有限公司

摘要:本发明涉及一种非接触式测量镜片中厚和矢高的装置及方法,装置包括xy平移台1、第一、第二z平移台2,3、俯仰平台4、转接平台5、载物板6以及位移计7,所述位移计7包括同轴设置的第一、第二探头8,9,所述载物板6位于两探头之间,还包括测微计10。本发明可以同时测量出镜片中厚和矢高,从而避免分开测量带来的测量误差。

主权项:1.一种非接触式测量镜片中厚和矢高的装置,包括xy平移台(1)、第一、第二z平移台(2,3)、俯仰平台(4)、转接平台(5)、载物板(6)以及位移计(7),所述位移计(7)包括同轴设置的第一、第二探头(8,9),所述载物板(6)位于两探头之间,其特征在于,还包括用于测量所述载物板(6)沿所述第一探头(8)和所述第二探头(9)轴线的移动参数的测微计(10);所述测微计(10)的测量方式为:使所述测微计(10)的探针抵在所述载物板(6)上,测出所述载物板(6)的移动距离,所述测微计(10)不接触镜片。

全文数据:

权利要求:

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