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申请/专利权人：托伦斯半导体设备启东有限公司

摘要：本发明涉及表面处理技术领域，具体为一种用于半导体蚀刻反应腔室的全自动镀镍刷，包括安装座、定位环、安装环、刷毛，所述安装座上通过弹簧连接有多个安装环与定位环，多个所述安装环两两相互滑动连接。本发明通过调节装置控制调节杆的位置，使多个安装环可产生相对移动，使镀镍刷沿中部形成不同宽度的凸起，进而在对不同的槽进行刷镀时，能使镀镍刷不同部位距离槽内部内壁距离均相等，从而在不更换镀镍刷的情况下，不仅能有效保证槽内镍层的均匀度，保证半导体蚀刻反应腔室防腐效果，且减少反应腔室选择性镀镍的刷毛更换步骤，使镀镍更为方便，且避免镀镍刷更换时杂质的带入，进一步保证镍层质量，保证半导体蚀刻反应腔室防腐效果。

主权项：1.一种用于半导体蚀刻反应腔室的全自动镀镍刷，其特征在于，包括安装座（1）、定位环（2）、安装环（3）、刷毛（4），所述安装座（1）上通过弹簧（5）连接有多个安装环（3）与定位环（2），多个所述安装环（3）两两相互滑动连接，多个所述安装环（3）包裹定位环（2），所述刷毛（4）设置在安装环（3）与定位环（2）上，所述安装座（1）上设有调节杆（6），所述安装座（1）上设有调节装置（7），所述调节装置（7）通过控制调节杆（6）位置调节多个安装环（3）高度；所述调节装置（7）包括限位板（71）、液压缸一（72）、液压缸二（73）、连接座（74），多个所述安装环（3）上方位于同一水平平面上均设有限位板（71），所述限位板（71）沿安装环（3）中心凸出至安装环（3）内侧边缘，且半径最大安装环（3）与安装座（1）贴合，所述安装座（1）上连接有液压缸一（72），所述液压缸一（72）输出端连接有液压缸二（73），所述液压缸二（73）上连接有连接座（74），所述调节杆（6）设置在连接座（74）上；所述调节杆（6）上沿竖直方向安装有弹性片（8），所述连接座（74）上设有液压缸三（9），所述液压缸三（9）输出端移动方向与竖直方向夹角为45°，所述液压缸三（9）输出端上连接有连接杆（10），所述连接杆（10）上固定安装有连接块（11），所述连接块（11）上设有滑槽（12），所述滑槽（12）沿竖直方向设置，所述弹性片（8）上设有与滑槽（12）配合的滑轨（13），所述弹性片（8）下方切线方向与水平方向平行。

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