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申请/专利权人：上海精测半导体技术有限公司
摘要：本发明提供一种运动平台位置补偿方法、补偿系统及电子设备，补偿方法包括：基于标准测试样件上的多个测量点位，通过运动平台带动所述标准测试样件的多次移动，每次移动实现将一个测量点位移动至对准系统中目标位置；获取每次移动对应测量点位的理想移动位置和每次移动后对应测量点位的实际移动位置，并计算运动平台每次移动的走位偏差；根据当前次移动之前所有次移动的走位偏差，计算运动平台当前次移动的位置补偿值；基于运动平台当前次移动的位置补偿值，控制运动平台移动实现移动的位置补偿。本发明可实现运动平台实时在线的位置高精度补偿，避免频繁更改运动控制台的配置参数。
主权项：1.一种运动平台位置补偿方法，其特征在于，包括：获取包括多个测量点位的标准测试样件，通过运动平台带动所述标准测试样件多次移动，每次移动实现将一个所述测量点位移动至对准系统中目标位置；获取每次移动后所述目标位置对应测量点位的理想移动位置和每次移动后所述目标位置对应测量点位的实际移动位置，并计算运动平台每次移动的走位偏差；根据当前次移动之前的所有次移动的走位偏差，计算运动平台当前次移动的位置补偿值；基于运动平台当前次移动的位置补偿值，控制运动平台移动实现移动的位置补偿；所述计算运动平台每次移动的走位偏差，包括：δK＝NK-Ck；其中，NK为第k次移动后所述目标位置对应测量点位的理想移动位置，Ck为第k次移动后所述目标位置对应测量点位的实际移动位置，δK为运动平台第k次移动的走位偏差，k为正整数；所述根据当前次移动之前所有次移动的走位偏差，计算运动平台当前次移动的位置补偿值，包括： 其中，Δk+1为运动平台第k+1次移动的位置补偿值，δ1、δ2…δk分别为第1到k次移动后运动平台的走位偏差，N1、N2…Nk分别为第1到k次移动后所述目标位置对应测量点位的理想移动位置，w1、w2…wk分别为δ1、δ2…δk的权重系数；获取每次移动后运动平台的走位偏差，若所述走位偏差小于偏差阈值，则所述走位偏差对应的权重系数为0；若所述走位偏差大于等于偏差阈值，则所述走位偏差对应的权重系数为1。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海精测半导体技术有限公司 一种运动平台位置补偿方法、补偿系统及电子设备
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