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申请/专利权人：常州捷佳创智能装备有限公司

摘要：本发明提供了一种烘干固化炉装置和烘干方法，固化炉装置包括：花篮，工件沿第一方向叠放于花篮上，炉体装置，花篮沿第二方向在炉体装置内传送，第一方向和第二方向相垂直。本发明的技术方案中，花篮用于装载硅片，并将硅片送入炉体装置进行烘干，当硅片烘干完成后，又将硅片传送至其他部件，方便硅片进行下一道工序。这样使得烘干固化炉装置具有自动烘干硅片的功能，从而满足设备的自动化要求，同时提高了烘干固化炉装置的烘干效率。

主权项：1.一种烘干固化炉装置，用于烘干工件（600），其特征在于，所述固化炉装置包括：花篮（10），所述工件（600）沿第一方向叠放于所述花篮（10）上；炉体装置（300），所述花篮（10）沿第二方向在所述炉体装置（300）内传送，所述第一方向和所述第二方向相垂直；机架（200），包括主容纳腔（202）和设置于所述主容纳腔（202）至少一侧的侧腔（204），所述炉体装置（300）设置在所述主容纳腔（202）内；升降机构（100），设置在所述侧腔（204）内；控制系统，与所述升降机构（100）和所述炉体装置（300）连接；其中，所述花篮（10）沿所述第一方向放置在所述升降机构（100）上或者所述炉体装置（300）内；所述控制系统通过控制所述升降机构（100）动作，以将所述工件（600）传送至所述炉体装置（300）内进行烘干，或者以将烘干后的所述工件（600）传送至其他位置；所述机架（200）包括两个所述侧腔（204），两个所述侧腔（204）分别设置在所述主容纳腔（202）的两侧，所述固化炉装置包括两个所述升降机构（100），两个所述升降机构（100）分别设置在对应的所述侧腔（204）内；所述升降机构（100）包括固定支架（102）和升降组件（104），所述升降组件（104）与所述固定支架（102）滑动连接，所述升降组件（104）能够沿所述第一方向相对于所述固定支架（102）滑动；所述升降组件（104）用于支撑和固定所述花篮（10）；所述升降机构（100）还包括驱动装置（107），所述驱动装置（107）能够驱动所述升降组件（104）沿所述第一方向滑动至预设的位置；所述升降组件（104）包括升降件（1042）、传送装置（1044）和稳固装置（1046），所述传送装置（1044）设置在所述升降件（1042）上，且位于所述升降件（1042）的底部，所述稳固装置（1046）设置在所述升降件（1042）上，且位于所述升降件（1042）的顶部；所述花篮（10）位于所述传送装置（1044）和所述稳固装置（1046）之间，所述稳固装置（1046）能够将所述花篮（10）固定在所述传送装置（1044）上，所述传送装置（1044）用于支撑所述花篮（10），并将所述花篮（10）朝所述第二方向传送；所述稳固装置（1046）包括缸体（1047）和驱动活塞（1049），所述缸体（1047）固定在所述升降件（1042）的顶部，所述驱动活塞（1049）设置在所述缸体（1047）内，所述驱动活塞（1049）能够沿所述第一方向伸缩，所述驱动活塞（1049）能够从所述缸体（1047）伸出与所述花篮（10）抵接，并将所述花篮（10）压紧固定在所述传送装置（1044）上；所述升降组件（104）还包括连接板（1048），所述连接板（1048）的一端与所述缸体（1047）连接，所述连接板（1048）的另一端与所述升降件（1042）的顶部连接；所述升降机构（100）还包括滑动结构（106），所述滑动结构（106）位于所述固定支架（102）和所述升降组件（104）之间，所述升降组件（104）通过所述滑动结构（106）与所述固定支架（102）滑动连接；所述滑动结构（106）包括滑动导轨（1062）和滑动平台（1064），所述滑动导轨（1062）沿所述第一方向延伸设置在所述固定支架（102）上，所述滑动平台（1064）与所述滑动导轨（1062）滑动连接，所述滑动平台（1064）能够在所述滑动导轨（1062）上滑动，所述滑动平台（1064）与所述升降组件（104）连接；所述驱动装置（107）包括驱动电机（1072）和与所述驱动电机（1072）连接的传动丝杠，所述传动丝杠与所述滑动平台（1064）螺纹连接；所述烘干固化炉装置还包括两个上下料机构（500），两个所述上下料机构（500）分别设置在对应的所述侧腔（204）内，两个所述上下料机构（500）与两个所述升降机构（100）一一对应地设置，且与所述控制系统连接；所述上下料机构（500）包括支撑框架（502）、伸缩平台（504）、固定平台（506）和运送装置（508），所述伸缩平台（504）和所述固定平台（506）设置在所述支撑框架（502）的顶端，所述伸缩平台（504）能够在所述支撑框架（502）上伸缩滑动；所述运送装置（508）包括两组传动轮组（5082）和两根传动皮带（5084），两组所述传动轮组（5082）分别设置在所述支撑框架（502）的两侧，两根所述传动皮带（5084）一一对应地设置在两组所述传动轮组（5082）上，所述传动皮带（5084）部分设置在所述伸缩平台（504）和所述固定平台（506）上；所述传动轮组（5082）包括滑动轮（5086），所述滑动轮（5086）能够随所述伸缩平台（504）一起伸缩；所述上下料机构（500）还包括运送驱动装置（501）和伸缩驱动装置（503），所述运送驱动装置（501）用于驱动所述运送装置（508）动作，所述伸缩驱动装置（503）用于驱动所述伸缩平台（504）动作；所述炉体装置（300）包括炉体装置上料门（302）、炉体装置下料门（304）和传送结构，所述传送结构包括第一传送件（306）、第二传送件（308）和第三传送件（309），沿所述工件（600）的传送方向，所述第一传送件（306）、所述第二传送件（308）和所述第三传送件（309）依次设置；当位于左侧的所述侧腔（204）内的所述升降机构（100）将首个所述花篮（10）传送至所述炉体装置（300）时，所述炉体装置上料门（302）打开，所述第一传送件（306）承接所述花篮（10），直至所述炉体装置（300）内的传送位上均布满所述花篮（10），所述炉体装置上料门（302）关闭；在达到首个所述花篮（10）的烘干工艺时间后，所述炉体装置下料门（304）打开，所述第三传送件（309）将首个所述花篮（10）传送至位于右侧的所述侧腔（204）内的所述升降机构（100）上，所述炉体装置下料门（304）关闭；所述第二传送件（308）将第二个所述花篮（10）传送至所述第三传送件（309）上，所述第一传送件（306）上的所述花篮（10）依次传送至所述第三传送件（309）上；当所述第一传送件（306）上没有所述花篮（10），位于左侧的所述侧腔（204）内的所述升降机构（100）与所述炉体装置（300）已接驳时，所述炉体装置上料门（302）打开，承接所述花篮（10），承接完成后所述炉体装置上料门（302）关闭，依次反复。

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