龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：湖北鼎龙芯盛科技有限公司;鼎龙(潜江)新材料有限公司;湖北鼎龙控股股份有限公司
摘要：本发明公开了一种抗蚀剂组合物和形成抗蚀剂图案的方法。该抗蚀剂组合物包含两种酸扩散抑制剂：A胺化小分子化合物和B胺类聚合物。本发明通过两种酸扩散抑制剂联用的方式，不仅弥补了单独使用酸扩散抑制剂各自固有的缺陷，还对光刻过程中的分辨率和线条粗糙度有了很大的改善。
主权项：1.一种抗蚀剂组合物，其特征在于，包含两种酸扩散抑制剂：A胺化小分子化合物和B胺类聚合物，所述A胺化小分子化合物选自如下式1表示的物质： 式1中，R1表示为甲基、乙基、异丙基、乙酰基、叔丁氧羰基或叔戊氧羰基，m、n表示亚甲基的个数，各自独立的表示1～3的正整数；所述B胺类聚合物选自如下式2表示的物质： 式2中，R1表示为甲基、乙基、异丙基、乙酰基、叔丁氧羰基或叔戊氧羰基，R2表示氢原子、碳数为1～5的烷基或碳数为1～5的卤代烷基，m、n表示亚甲基的个数，各自独立的表示1～3的正整数；所述式2表示的胺类聚合物的重均分子量为1000～20000。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖北鼎龙芯盛科技有限公司 鼎龙(潜江)新材料有限公司 湖北鼎龙控股股份有限公司 抗蚀剂组合物和形成抗蚀剂图案的方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号