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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：本文公开的实施例包括静电吸盘。在实施例中，静电吸盘包括：底座，所述底座具有支撑表面以及与支撑表面相对的第二表面，支撑表面用于支撑基板；吸附电极，所述吸附电极在底座内。在实施例中，偏压电极在底座内，加热元件在底座内。在实施例中，静电吸盘进一步包括：轴，所述轴耦接至底座的第二表面；以及旋转组件，所述旋转组件耦接至轴以旋转轴与底座。
主权项：1.一种静电吸盘，包括：底座，所述底座具有支撑表面以及与所述支撑表面相对的第二表面，所述支撑表面用于支撑基板；吸附电极，所述吸附电极在所述底座内；偏压电极，所述偏压电极在所述底座内；加热元件，所述加热元件在所述底座内；轴，所述轴耦接至所述底座的所述第二表面；以及旋转组件，所述旋转组件耦接至所述轴以旋转所述轴与所述底座。
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