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调压系统及使用其的失效管控方法 

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申请/专利权人:力晶积成电子制造股份有限公司

摘要:本发明公开一种调压系统及使用其的失效管控方法,其中该调压系统包括调压阀、气体提供单元以及压力侦测单元。调压阀包括第一阀体与作动单元。第一阀体与作动单元构成第一内部空间。气体提供单元连接调压阀且被配置于提供保护气体至第一内部空间中。第一内部空间延伸至气体提供单元而构成第二内部空间,且保护气体的水分含量大于等于0且小于等于0.01ppmV。压力侦测单元设置于气体提供单元上且被配置于侦测第二内部空间内的压力。

主权项:1.一种调压系统,包括:调压阀,包括第一阀体与作动单元,其中所述第一阀体与所述作动单元构成第一内部空间;气体提供单元,连接所述调压阀且被配置于提供保护气体至所述第一内部空间中,其中所述第一内部空间延伸至所述气体提供单元而构成第二内部空间,且所述保护气体的水分含量大于等于0且小于等于0.01ppmV;以及压力侦测单元,设置于所述气体提供单元上且被配置于侦测所述第二内部空间内的压力。

全文数据:

权利要求:

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