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一种高纯四甲基硅烷的分离提纯方法 

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申请/专利权人:金宏气体股份有限公司

摘要:本发明公开了一种高纯四甲基硅烷的分离提纯方法,包括如下步骤:步骤1,将13X吸附剂与四甲基硅烷低沸物样品混合,浸泡一定时间进行液固吸附,得粗品四甲基硅烷;步骤2,利用ZSM‑5吸附剂,在30℃~45℃吸附温度下,对所述粗品四甲基硅烷进行气态吸附,冷凝,得高纯四甲基硅烷。本发明中的分离提纯方法能够获得含量达99.99%的四甲基硅烷,同时成本低,经济效益高,满足了市场对经济、效率和纯度的高要求。

主权项:1.一种高纯四甲基硅烷的分离提纯方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1,将13X吸附剂与四甲基硅烷低沸物样品混合,浸泡一定时间进行液固吸附,得粗品四甲基硅烷;步骤2,利用ZSM-5吸附剂,在30℃~45℃吸附温度下,对所述粗品四甲基硅烷进行气态吸附,冷凝,得高纯四甲基硅烷。

全文数据:

权利要求:

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