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申请/专利权人：深圳众诚达应用材料股份有限公司
摘要：本申请涉及太阳能电池技术领域，提供了一种低成本的太阳能电池电极及其制备方法，包括：提供待金属化的太阳能电池前驱体；将太阳能电池前驱体进行图形化处理，形成栅线图案；将含有栅线图案的太阳能电池前驱体置于铜镜反应液中进行还原反应，然后退火处理，形成铜种子层；利用铜电镀工艺在铜种子层表面制备铜镀层，然后将栅线图案以外的掩膜层和掩膜层上的铜种子层去除，形成太阳能电池电极。本申请提供的制备方法，可以替代PVD设备制备铜种子层，无需使用昂贵设备，成本低。并且本申请采用铜镜反应能够使铜均匀沉积到栅线图案凹槽的底部和侧壁，使铜种子层分布更加均匀，因此防止电镀过程形成缺陷，利于后续电镀形成均匀致密的铜镀层。
主权项：1.一种低成本的太阳能电池电极的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：提供待金属化的太阳能电池前驱体；将所述太阳能电池前驱体进行图形化处理，形成栅线图案；将含有所述栅线图案的太阳能电池前驱体置于铜镜反应液中进行还原反应，然后退火处理，形成铜种子层；利用铜电镀工艺在所述铜种子层表面制备铜镀层，然后将所述栅线图案以外的掩膜层和所述掩膜层上的铜种子层去除，形成太阳能电池电极。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳众诚达应用材料股份有限公司 一种低成本的太阳能电池电极及其制备方法
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