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申请/专利权人：浙江芯晖装备技术有限公司

摘要：本发明提供了一种用于卸载和传送硅片的装置，包括电机、支撑架、回转轴、套管、上封盖、下封盖和回转基座，回转基座上设有两组治具，电机固定在支撑架上，下封盖卡嵌在卡孔内，套管下端与下封盖嵌套连接，套管上端与上封盖嵌套连接，回转轴穿设在套筒内，回转轴通过轴承与套筒内壁转动连接，回转轴下端穿过卡板且与电机通过同步带传动组动力连接，回转轴上端固定连接有传动盖板，传动盖板与回转基座固定连接，治具包括固定在回转基座上的气缸、定位销、法兰盘、限位销、上防水罩和下防水罩，回转基座上设有将硅片从治具上冲落的喷水管。通过气缸和喷水管，将治具上的硅片吹落，回转基座可通过电机转动，使回转基座在缓冲、卸载工位之间摆动。

主权项：1.一种用于卸载和传送硅片的装置，包括电机、支撑架、回转轴、套管、上封盖、下封盖和回转基座，其特征在于，回转基座上设有两组治具，电机固定在支撑架上，支撑架上表面固定有若干支撑柱，支撑柱上端连接有卡板，卡板上开有卡孔，下封盖卡嵌在卡孔内，套管下端与下封盖嵌套连接，套管上端与上封盖嵌套连接，回转轴穿设在套筒内，回转轴通过轴承与套筒内壁转动连接，回转轴下端穿过卡板且与电机通过同步带传动组动力连接，回转轴上端固定连接有传动盖板，传动盖板与回转轴同步转动，传动盖板与回转基座固定连接，治具包括固定在回转基座上的气缸、定位销、法兰盘、限位销、上防水罩和下防水罩，下防水罩固定在回转基座上且套在气缸外，法兰盘套在定位销上且沿着定位销上下滑动，上防水罩固定在法兰盘下表面，气缸的活塞杆与法兰盘连接，上防水罩套在下防水罩外，回转基座上设有将硅片从治具上冲落的喷水管；法兰盘上表面开有供硅片放置的凹槽，所述气缸可控制所述法兰盘上下运动；回转基座上固定有限位销，限位销穿过法兰盘，限位销底面设置有密封圈，密封圈与所述法兰盘处于上极限位时相抵靠；硅片卸载时，气缸自动向上顶起，法兰盘与定位销、限位销中的密封圈抵靠，喷水管往法兰盘蓄水，保证硅片卸载后处于水中保湿；利用喷水管冲水将吸附在抛光头吸附垫的硅片冲落下来；为了硅片卸载定位准确，定位销采用圆锥形的斜面自定心；启动电机，通过同步带传动组带动回转轴转动90°，使回转基座转到传送工位；机械手夹取硅片前，气缸带动法兰盘下降，排出蓄水。

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