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一种分段扫描傅里叶变换光谱仪 

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申请/专利权人:江苏旭海光电科技有限公司

摘要:本申请适用于傅里叶变换光谱仪技术领域,提供一种分段扫描傅里叶变换光谱仪,包括光源、第一分束器、第一反射镜、第二反射镜、第一光探测器、第一平面反射镜、第二分束器、移相器、第二光探测器、第三光探测器、第一运动机构、第二运动机构和处理器;通过采用两个行程不同的运动机构协同工作,可以在动镜也即第二反射镜的运动范围较大的情况下实现稳定的干涉。

主权项:1.一种分段扫描傅里叶变换光谱仪,其特征在于,包括:光源,用于输出探测光束和参考光束;第一分束器,所述探测光束经所述第一分束器分束为第一探测光束和第二探测光束,所述参考光束经所述第一分束器分束为第一参考光束和第二参考光束;第一反射镜,所述第一探测光束和所述第一参考光束经所述第一反射镜反射回所述第一分束器;第二反射镜,所述第二探测光束和所述第二参考光束经所述第二反射镜反射回所述第一分束器,所述第一探测光束和所述第二探测光束经所述第一分束器合束为目标探测光束,所述第一参考光束和所述第二参考光束经所述第一分束器合束为目标参考光束;第一光探测器,用于对所述目标探测光束进行采样并转换为第一电信号;第一平面反射镜,用于从光路中取出所述目标参考光束;第二分束器,所述第二分束器为偏振分束器,用于实现对所述目标参考光束的偏振分束,所述目标参考光束经所述第一平面反射镜反射至所述第二分束器,并经所述第二分束器分束为第一目标参考光束和第二目标参考光束;移相器,设置于所述第一参考光束或所述第二参考光束的传输光路,使得所述第一目标参考光束和所述第二目标参考光束的干涉条纹的相位差为90度;第二光探测器,用于对所述第一目标参考光束进行采样并转换为第二电信号;第三光探测器,用于对所述第二目标参考光束进行采样并转换为第三电信号;第一运动机构,与所述第一反射镜机械连接,用于驱动所述第一反射镜快速运动;第二运动机构,与所述第二反射镜机械连接,用于驱动所述第二反射镜步进运动或慢速连续运动,以增大所述第一探测光束和所述第二探测光束的光程差,所述第一运动机构的运动速度大于所述第二运动机构的运动速度,所述第一运动机构的行程小于所述第二运动机构的行程,以使所述第二运动机构产生的光程差为所述第一运动机构产生的光程差的两倍以上;处理器,分别与所述第一光探测器、所述第二光探测器、所述第三光探测器、所述第一运动机构和所述第二运动机构电连接,用于:根据所述第一电信号获得所述目标探测光束的时序干涉数据;根据所述第二电信号和所述第三电信号获得所述第一探测光束和所述第二探测光束的光程差,所述光程差与所述第二反射镜的运动方向无关;根据所述光程差对所述时序干涉数据进行傅里叶变换,获得光谱信息。

全文数据:

权利要求:

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