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申请/专利权人：上海汉虹精密机械有限公司

摘要：本发明提供一种单晶炉大直径旋板阀阀芯，包括旋板阀阀芯，旋板阀阀芯用于大直径半导体单晶炉、硅部件单晶炉，旋板阀阀芯包括气镶焊接组件、上水冷板焊接组件、下水冷板焊接组件、旋转轴、第一支板、第二支板、定位销、通水波纹管和O形密封圈，上水冷板焊接组件和下水冷板焊接组件分别与气镶焊接组件焊接，第二支板与气镶焊接组件焊接，且第二支板的通气孔与气镶焊接组件的气孔相对，旋转轴与第一支板焊接，且第一支板上的气孔与旋转轴上的气孔相对；旋转轴与第一支板焊接好的组件再与气镶焊接组件、水冷板焊接组件、下水冷板焊接组件组合焊接组件进行最后一次的焊接，焊接之前将定位销插入第一支板，从而使第一支板和第二支板的定位孔完整对接。

主权项：1.一种单晶炉大直径旋板阀阀芯，包括旋板阀阀芯，其特征在于，所述旋板阀阀芯用于大直径半导体单晶炉、硅部件单晶炉，所述旋板阀阀芯包括气镶焊接组件、上水冷板焊接组件、下水冷板焊接组件、旋转轴、第一支板、第二支板、定位销、通水波纹管和O形密封圈，所述上水冷板焊接组件和所述下水冷板焊接组件分别与所述气镶焊接组件焊接，所述第二支板与所述气镶焊接组件焊接，且所述第二支板的通气孔与所述气镶焊接组件的气孔相对，所述旋转轴与所述第一支板焊接，且所述第一支板上的气孔与所述旋转轴上的气孔相对；所述旋转轴与所述第一支板焊接好的组件再与所述气镶焊接组件、水冷板焊接组件、下水冷板焊接组件组合焊接组件进行最后一次的焊接，焊接之前将定位销插入所述第一支板，从而使第一支板和所述第二支板的定位孔完整对接；所述旋转轴内设有两道水路通道，所述两道水路通道分别与上水冷板焊接组件、下水冷板焊接组件导通，所述旋转轴内还设有一气流通道，所述气流通道用于气镶焊接组件密封时张开或关闭，气镶焊接组件张开或关闭时，从而带动上下水冷板焊接组件向下向上运动，所述通水波纹管分别与所述旋转轴、上水冷板焊接组件和下水冷板焊接组件进行焊接；所述上水冷板焊接组件是由在一块圆板上铣削加工通水槽，上面有上盖板焊件而成一个水冷腔，所述下水冷板焊接组件是由在一块圆板上铣削加工通水槽，上面有下盖板焊件而成一个水冷腔，所述旋板阀阀芯直径是630mm。

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