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申请/专利权人：苏州普伊特自动化系统有限公司;浙江爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司;珠海富山爱旭太阳能科技有限公司
摘要：本实用新型涉及一种湿制程化学处理设备，包括壳体，以及设置在壳体内部的槽体、泵浦、过滤组件和抽气组件；过滤组件的进液端伸入至槽体的内侧底部，过滤组件的出液端与泵浦的进液管连接，槽体内设置有与泵浦的出液管连通的注液管。本实用新型通过将槽体设置在壳体内部并通过抽气组件将槽体内挥发的药液蒸气快速抽离，从而可以避免槽体内的挥发药液进入工作车间造成环境污染并减小了反应气体对人体造成的危害，增加了设备的安全性；通过内置滤袋等过滤组件的形式对反应药液进行过滤后，再通过泵浦将药液循环输送到槽体内与硅片进行反应，有效减少了药液的浪费，降低了使用成本。
主权项：1.一种湿制程化学处理设备，其特征在于，包括壳体100，以及设置在所述壳体100内部的槽体200、泵浦300、过滤组件400和抽气组件；所述过滤组件400的进液端伸入至所述槽体200的内侧底部，所述过滤组件400的出液端与所述泵浦300的进液管连接，所述槽体200内设置有与所述泵浦300的出液管连通的注液管700，所述泵浦300将经过所述过滤组件400过滤后的药液从所述注液管700注入所述槽体200内，且所述抽气组件用于将所述槽体200内挥发的药液蒸气抽气并排出至所述壳体100外部。
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权利要求：
百度查询： 苏州普伊特自动化系统有限公司 浙江爱旭太阳能科技有限公司 广东爱旭科技有限公司 珠海富山爱旭太阳能科技有限公司 一种湿制程化学处理设备
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