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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：基板处理方法具有第一工序至第六工序。保持基板第一工序。开始利用相机进行拍摄，从而生成拍摄图像第二工序。开始从第一喷嘴向基板喷出处理液第三工序。停止从第一喷嘴喷出处理液，开始从第二喷嘴喷出处理液第四工序。基于针对拍摄图像的图像处理，求出从第二喷嘴喷出处理液的开始时刻与从第一喷嘴喷出处理液的停止时刻之间的时间差第五工序。在判定为时间差在规定范围外时，以使时间差处于规定范围内的方式调整开始时刻及停止时刻中的至少任一者第六工序。
主权项：1.一种基板处理方法，其中，具有：第一工序，保持基板；第二工序，开始利用相机对包含第一喷嘴的前端及第二喷嘴的前端的拍摄区域进行拍摄，生成拍摄图像，第三工序，开始从所述第一喷嘴向所述基板喷出处理液；第四工序，停止从所述第一喷嘴喷出处理液，开始从所述第二喷嘴喷出处理液；第五工序，基于针对所述拍摄图像的图像处理，求出在所述第四工序中开始从所述第二喷嘴喷出处理液的开始时刻与停止从所述第一喷嘴喷出处理液的停止时刻之间的时间差；以及第六工序，判定所述时间差是否在规定范围外，在判定为所述时间差在所述规定范围外时，以使所述时间差处于所述规定范围内的方式，调整所述开始时刻及所述停止时刻中的至少任一者；在所述第五工序中，基于所述拍摄图像的各帧中从所述第一喷嘴的前端向所述第一喷嘴的喷出方向延伸的第一喷出判定区域的像素值，确定所述停止时刻，基于各帧中从所述第二喷嘴的前端向所述第二喷嘴的喷出方向延伸的第二喷出判定区域的像素值，确定所述开始时刻。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 基板处理方法以及基板处理装置
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