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申请/专利权人：能量奇点能源科技(上海)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种曲面靶板组件、偏滤器，所述曲面靶板组件包括：通过对称焊接形成封闭式连接的第一靶板和第二靶板，第一靶板和第二靶板的围合区域内设置等离子体，设第一靶板面向等离子体的表面为第一表面、背对等离子体的表面为第二表面，第二靶板面向等离子体的表面为第三表面、背对等离子体的表面为第四表面，则第一表面和或第三表面为曲面；第一靶板、第二靶板具有相同的多层结构，沿远离等离子体的方向多层结构依次包括作为表层的钨层、过渡层、导热层、作为结构层的不锈钢层，且多层结构的相邻层之间均通过焊接固定。所述曲面靶板组件与其附近磁场的磁力线匹配度佳，可减少中性气体逃逸，能在偏滤器打击点附近更好地富集中性气体。
主权项：1.曲面靶板组件，其特征在于，包括：通过对称焊接形成封闭式连接的第一靶板和第二靶板，所述第一靶板和第二靶板的围合区域内设置等离子体，其中，设所述第一靶板面向所述等离子体的表面为第一表面、背对所述等离子体的表面为第二表面，所述第二靶板面向所述等离子体的表面为第三表面、背对所述等离子体的表面为第四表面，则所述第一表面和或第三表面为曲面，使得所述第一靶板和或第二靶板为曲面靶板；所述第一靶板、第二靶板均具有相同的多层结构，沿远离所述等离子体的方向所述多层结构依次包括：作为表层的钨层、过渡层、导热层、作为结构层的不锈钢层，且所述多层结构的相邻层之间均通过焊接固定。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 能量奇点能源科技(上海)有限公司 曲面靶板组件、偏滤器
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