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申请/专利权人：成都高真科技有限公司
摘要：本申请公开一种排气管组件以及半导体制造设备，排气管组件包括：排气管本体和中间支撑管，排气管本体的第一端固定套设在中间支撑管的外侧；内套管，内套管套设于中间支撑管内部，内套管的第一段位于中间支撑管内，内套管的第二段超出中间支撑管且伸入排气管本体内部；其中，内套管的管壁内、中间支撑管的管壁内和或内套管外表面和中间支撑管内表面之间设置有气道，气道的出口朝向内套管的第二段外表面与排气管本体之间的间隙。使气道的进口连通保护气体管路，保护气体最终从气道的出口吹向内套管的第二段外表面与排气管本体之间的间隙，进而使保护气体可以沿着排气管本体的内表面流动，从而减少污染物附着在排气管本体内表面。
主权项：1.一种排气管组件，其特征在于，包括：排气管本体和中间支撑管，所述排气管本体的第一端固定套设在所述中间支撑管的外侧，且所述排气管本体的第一端与所述中间支撑管之间密封；内套管，所述内套管套设于所述中间支撑管内部，所述内套管的外表面与所述中间支撑管的内表面之间密封配合，所述内套管的第一段位于中间支撑管内，所述内套管的第二段超出中间支撑管且伸入所述排气管本体内部；其中，所述内套管的管壁内、所述中间支撑管的管壁内和或所述内套管外表面和所述中间支撑管内表面之间设置有气道，所述气道的进口位于所述中间支撑管和或内套管的外表面，所述气道的出口朝向所述内套管的第二段外表面与排气管本体之间的间隙。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 成都高真科技有限公司 排气管组件以及半导体制造设备
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