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申请/专利权人：株式会社斯库林集团

摘要：数据处理装置生成表示以初始网格宽度对初始描画数据所表示的初始描画区域进行分割而得到的多个第一网格区域的各描画内容的第一分割数据，基于第一基板的对准标记的位置，根据重新配置后的各第一网格区域的位置，对各第一网格区域的描画内容进行合成，生成第一描画数据。数据处理装置生成表示以比初始网格宽度大的网格宽度对第一描画数据所表示的第一描画区域进行分割而得到的多个第二网格区域的各描画内容的第二分割数据，基于第二基板的对准标记的位置，根据重新配置后的各第二网格区域的位置，对各第二网格区域的描画内容进行合成，生成表示包含规定图案的第二描画区域的第二描画数据。

主权项：1.一种描画装置，在基板上描画规定图案，其中，具有：载物台，用于载置具有多个对准标记的基板；拍摄部，对载置于所述载物台的所述基板的所述对准标记进行拍摄；数据处理部，生成描画数据；以及照射部，基于所述描画数据，向载置于所述载物台的所述基板照射光；所述数据处理部执行如下处理：数据获取处理，获取表示包含规定图案的初始描画区域的初始描画数据；第一分割处理，基于所述初始描画数据，生成表示以初始网格宽度对所述初始描画区域进行分割而得到的多个第一网格区域的各描画内容的第一分割数据；第一标记位置确定处理，基于所述拍摄部对第一基板进行拍摄而得到的拍摄图像，来确定所述第一基板的所述对准标记的位置；第一重新配置处理，基于所述第一基板的所述对准标记的位置，重新配置各所述第一网格区域；第一合成处理，根据通过所述第一重新配置处理而重新配置后的各所述第一网格区域的位置，对所述第一分割数据所表示的各所述第一网格区域的描画内容进行合成，生成表示包含规定图案的第一描画区域的第一描画数据；第二分割处理，基于所述第一描画数据，生成表示以比所述初始网格宽度大的网格宽度对所述第一描画区域进行分割而得到的多个第二网格区域的各描画内容的第二分割数据；第二标记位置确定处理，基于所述拍摄部对第二基板进行拍摄而得到的拍摄图像，来确定所述第二基板的所述对准标记的位置；第二重新配置处理，基于所述第二基板的所述对准标记的位置，重新配置各所述第二网格区域；以及第二合成处理，根据通过所述第二重新配置处理而重新配置后的各所述第二网格区域的位置，对各所述第二网格区域的描画内容进行合成，生成表示包含规定图案的第二描画区域的第二描画数据。

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百度查询： 株式会社斯库林集团 描画装置、数据处理装置、描画方法、以及描画数据生成方法