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一种电感封装结构及其封装方法 

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申请/专利权人:合肥矽迈微电子科技有限公司

摘要:本发明公开了一种电感封装结构及其封装方法,包括以下步骤:底层线路制作步骤:在底部包封层上电镀多条底层线路,多条底层线路沿水平方排列;中间柱形成步骤:在每条底层线路的端部均竖直电镀有中间柱;连接柱形成步骤:在电镀底层线路和中间柱的同时电镀连接柱,连接柱顶面与中间柱顶面共面;顶层线路制作步骤:包封并水平研磨暴露出连接柱和中间柱的顶面,在中间柱之间电镀多条顶层线路,并将位于排列边缘的一条顶层线路的B端与连接柱之间通过电镀工艺实现电性连接,底层线路、中间柱、连接柱和顶层线路构成一端电性输入、另一端电性输出的螺旋线圈,本发明工艺流程可以灵活的围绕异形磁芯周围电镀形成螺旋线圈。

主权项:1.一种电感结构封装方法,其特征在于,包括以下步骤:底层线路制作步骤:在底部包封层上电镀多条底层线路,多条底层线路沿水平方向排列;中间柱形成步骤:在每条底层线路的端部均竖直电镀有中间柱;连接柱形成步骤:在电镀底层线路和中间柱的同时电镀连接柱,连接柱顶面与中间柱顶面共面;顶层线路制作步骤:包封并水平研磨暴露出连接柱和中间柱的顶面,在中间柱之间电镀多条顶层线路,并将位于排列边缘的一条顶层线路的B端与连接柱之间通过电镀工艺实现电性连接,底层线路、中间柱、连接柱和顶层线路构成一端电性输入、另一端电性输出的螺旋线圈;产品单元制作步骤:继续包封,顶层线路被完全包封在包封料中,在产品切割道位置垂直切割包封料得到分离的产品单元。

全文数据:

权利要求:

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