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一种宽色域的非对称法布里珀罗腔结构色薄膜 

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申请/专利权人:西安电子科技大学;西安电子科技大学杭州研究院

摘要:本发明涉及一种宽色域的非对称法布里珀罗腔结构色薄膜,涉及真空薄膜应用领域,包括:基底、金属层、电介质层和半导体层;基底、金属层、电介质层和半导体层自下而上依次排列;金属层、电介质层和半导体层构成法布里珀罗多光束干涉腔;其中,半导体层的厚度用于选择透射特定波长的可见光。本发明公开的宽色域的非对称法布里珀罗腔结构色薄膜,具有支撑的基底以及金属层‑电介质层‑半导体层组成的非法布里珀罗干涉腔,该结构兼容飞秒激光减薄技术,极大的提高了非对称法布里珀罗腔结构色薄膜的生产效率。

主权项:1.一种宽色域的非对称法布里珀罗腔结构色薄膜,其特征在于,包括:基底1、金属层2、电介质层3和半导体层4;所述基底1、所述金属层2、所述电介质层3和所述半导体层4自下而上依次排列;所述金属层2、所述电介质层3和所述半导体层4构成法布里珀罗多光束干涉腔;其中,所述半导体层4的厚度用于选择透射不同波长的可见光。

全文数据:

权利要求:

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