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申请/专利权人：中环领先半导体材料有限公司

摘要：本发明公开了一种基于Fz法的楔形滑落晶棒夹持装置，包括熔炉口，所述熔炉口外圈套接固定圈，所述固定圈外侧壁三等分处螺栓连接夹持结构底端，所述夹持结构包括定位柄,所述定定位柄底端内侧螺栓连接固定圈，所述定位柄顶端固接斜块，所述斜块顶部开有槽腔，所述槽腔顶部螺栓连接限位梁，所述槽腔外侧腔口边缘螺栓连接调距结构。与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明利用楔形滑落的原理，对晶棒进行物理制动，根据受力分析，使得晶棒滑出所受摩擦力与晶棒自身重力对夹持器所产生的正压力达到平衡状态，保证晶棒不会倾斜掉落；克服了人工干预制晶形状的缺点，制晶过程的稳定性，提高了效率，提高了产能。

主权项：1.一种基于Fz法的楔形滑落晶棒夹持装置，包括熔炉口1，所述熔炉口1外圈套接固定圈2，其特征在于：所述固定圈2外侧壁三等分处螺栓连接夹持结构3底端，所述夹持结构3包括定位柄30,所述定位柄30底端内侧螺栓连接固定圈2，所述定位柄30顶端固接斜块31，所述斜块31顶部开有槽腔32，所述槽腔32顶部螺栓连接限位梁33，所述槽腔32外侧腔口边缘螺栓连接调距结构34；所述调距结构34包括底块340，所述底块340螺栓连接斜块31外侧底部，所述底块340中部竖直对称贯穿并螺纹连接两个顶杆341，所述顶杆341顶部活动顶托两个对称安装的升降块342竖直端底部，两个所述升降块342对称安装于槽腔32外侧腔口边缘，所述升降块342水平端螺栓连接限位栓344中部，所述限位栓344末端螺纹连接斜块31，所述升降块342竖直端中部活动插接连接销346两端；所述连接销346中部活动连接销杆35中部，所述销杆35中部贯穿槽腔32内腔，所述销杆35末端固接循迹块36一端中部，所述循迹块36两侧滑动连接槽腔32内腔壁，所述循迹块36另一端底面螺栓滑块38，所述滑块38侧面滑动接触槽腔32内侧腔口，所述滑块38凸台面螺栓连接钼片37；所述循迹块36两侧活动连接滑轮360，所述滑轮360滚动连接滑道320，所述滑道320开于槽腔32腔壁；利用楔形滑落的原理，使得斜块31、槽腔32和滑块38互相配合，晶棒在生长到一定阶段时，晶棒与钼片37接触，随着晶棒生长，钼片37所受到的正压力随之增大，进而滑轮360与滑道320之间的摩擦力同步增大；所述摩擦力可保证晶棒和滑块38的位置保持稳定。

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