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申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

摘要：本发明涉及一种基于光谱二维横向编码的共焦位移传感器系统，属于共聚焦显微镜技术领域。本发明的系统包括：第一分束器，第二分束器，物镜驱动器；第一分束器还连接有两个呈90°设置的横向和纵向系统，横向系统连接第一超连续谱激光器，纵向系统连接第二超连续谱激光器；横向和纵向系统分别在光路方向上依次包括：第一激光器接口、消色差透镜对和棱镜对；第二分束器还分别连接有CMOS和聚焦透镜，聚焦透镜还依次连接有第二激光器接口和光纤耦合光谱仪。本发明通过在共焦系统中引入光谱二维横向编码技术，能够在保持高分辨率和测量精度的同时，大幅提升数据采集速度，实现对表面形貌与倾斜角度的同步测量。

主权项：1.一种基于光谱二维横向编码的共焦位移传感器系统，其特征在于，在光路方向上依次包括：第一分束器（4），第二分束器（6），物镜驱动器（8）；所述第一分束器（4）还连接有横向系统（14）和纵向系统（15），所述横向系统（14）和纵向系统（15）呈90°设置，所述横向系统（14）连接第一超连续谱激光器（11），所述纵向系统（15）连接第二超连续谱激光器（12）；所述横向系统（14）和纵向系统（15），分别在光路方向上依次包括：第一激光器接口（1）、消色差透镜对（2）和棱镜对（3）；所述第二分束器（6）还分别连接有用于查看光谱的CMOS（5）和聚焦透镜（7），所述聚焦透镜（7）还依次连接有第二激光器接口（10）和光纤耦合光谱仪（13）；所述第一超连续谱激光器（11）输出准直高斯光束，该光束通过第一激光器接口（1）输入，输入光束通过消色差透镜对（2）进行扩展，扩展后光束通过棱镜对（3）后以横向输入到第一分束器（4）内；同时，第二超连续谱激光器（12）输出准直高斯光束，该光束通过第一激光器接口（1）输入，输入光束通过消色差透镜对（2）进行扩展，扩展后光束通过棱镜对（3）后以纵向输入到第一分束器（4）内；调整共焦位移传感器系统，使输入到第一分束器（4）内的横向光束和纵向光束位于光轴上，使两光束在横向与纵向上呈中心对称；调整后的光束通过第二分束器（6）与物镜驱动器（8）到达样品（9）上；最后，经过样品（9）反射后的反射光通过聚焦透镜（7）聚焦后被与第二激光器接口（10）连接的光纤耦合光谱仪（13）接收，所述光纤耦合光谱仪（13）将反射光聚焦到光纤中，分析反射光的光谱分布；对于每个位置，横向与纵向上均有单独的响应，每个响应通过标定都会有其倾斜角度对应的不同波长强度位置。

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百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 基于光谱二维横向编码的共焦位移传感器系统