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申请/专利权人：西部数据技术公司
摘要：一种压电PZT设备诸如硬盘驱动器微致动器的方法包括一层或多层极化压电材料，其中顶表面和底表面与跟功率源耦接以驱动有源PZT层的相应电极层耦接。电极层具有不同的厚度，其中特定厚度可以被配置为减轻与对应致动器臂和记录介质之间的z高度的操作变化相关联的平面外运动或弯曲的变化，并且同样，减轻挠曲振动的相位变化。
主权项：1.一种压电设备，包括：一层或多层极化压电材料，所述一层或多层极化压电材料共同具有顶表面和相背对的底表面；第一电极层，所述第一电极层与所述顶表面电耦接并且与电源电耦接；和第二电极层，所述第二电极层与所述底表面电耦接并且与所述电源电耦接；其中所述第一电极层和所述第二电极层中的一者形成为包括材料空隙图案的图案化电极，以产生不同于另一个电极层刚度的对应电极层刚度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西部数据技术公司 用于减轻平面外力和挠曲振动的相位变化的基于压电的微致动器布置
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