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申请/专利权人：迈达微(深圳)半导体技术有限公司
摘要：本实用新型公开一种非接触式磁性距离保持装置，包括：夹具、设置于所述夹具两侧的屏蔽罩、以及设置于所述屏蔽罩一端的磁极部件，所述磁极部件朝向相邻夹具，相邻夹具之间相对的磁极部件磁性相同。本实用新型通过在夹具的两侧设置磁极部件，并且相邻的夹具之间相对的磁极部件的磁性相同，从而通过同性相斥的特性在相邻的夹具之间产生斥力，以此避免相邻的夹具发生刚性碰撞的情况，提高整体夹具结构的稳定性，防止在夹具碰撞后移位而导致腐蚀液在工件表面流动，影响后续工序流程，导致线路腐蚀不均匀的情况发生，增加产品的不良率的情况发生。
主权项：1.一种非接触式磁性距离保持装置，其特征在于，包括：夹具、设置于所述夹具两侧的屏蔽罩、以及设置于所述屏蔽罩一端的磁极部件，所述磁极部件朝向相邻夹具，相邻夹具之间相对的磁极部件磁性相同。
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权利要求：
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