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摘要:本实用新型涉及硅片生产设备技术领域,尤其涉及一种兆声波分片装置,本实用新型将兆声波发生器设置在水槽底部,在水槽上部设置侧喷组件,侧喷组件对准堆叠在放置架上端的硅片,兆声波发生器发出高频振动带动水振动以产生大量气泡,气泡上浮时被侧喷组件喷入相邻两片硅片之间并在高频声波的作用下破裂,气泡破裂产生的冲击力克服硅片之间的张力从而将相邻的两片硅片分开,以确保吸水板每次吸取一片硅片,大大降低了硅片粘片的问题,并且兆声波发生器距离硅片上端的距离较大,兆声波作用到最上端的硅片时已经得到一定程度的衰减,以使兆声波能作用于气泡而不会对硅片产生冲击,从而保证硅片分片的良品率。
主权项:1.一种兆声波分片装置,其特征在于,包括:水槽;放置架,设置在所述水槽内,硅片可倾斜地堆叠于所述放置架上,所述放置架连接有升降驱动源;兆声波发生器,设置在所述水槽的底部且位于所述放置架的下方;侧喷组件,设置在所述水槽的上部且正对堆叠于所述放置架上端的硅片;吸水板和传输皮带,所述吸水板设置在所述放置架的上方,所述传输皮带水平地设置于所述吸水板的一侧,所述吸水板可吸取堆叠在最上端的硅片并驱使硅片输送至所述传输皮带上,传输皮带用于逐片地输送硅片;其中,所述兆声波发生器发出高频率声波使水振动以产生气泡,气泡上浮至所述侧喷组件与硅片之间时所述侧喷组件喷水以将气泡喷入相邻两片硅片之间,气泡在相邻两片硅片之间破裂并产生冲击力,从而克服相邻两片硅片之间的张力。
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