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申请/专利权人：常州捷佳创精密机械有限公司
摘要：本实用新型属于硅片分片技术领域，具体涉及一种水下分片模组，包括：分片机构，所述分片机构包括分片输送带和设置在所述分片输送带两侧的分片条，所述分片条上开设有若干喷水口；转向机构，所述转向机构设置在所述分片机构的终点处，所述转向机构包括弧形的转向输送带，所述转向输送带的终点水平设置；输出机构，所述输出机构设置在所述转向机构的终点处，所述输出机构包括输出输送带；通过设置分片机构，分片条上的喷水口能够喷出清洗介质对脱胶完成后的硅片进行分片，分片完后的硅片能输送到分片输送带，分片输送带适于吸附硅片并输送硅片上升，避免硅片在分片时受到污染，提高了清洗效率和质量。
主权项：1.一种水下分片模组，其特征在于，包括：分片机构，所述分片机构包括分片输送带和设置在所述分片输送带两侧的分片条，所述分片条上开设有若干喷水口；转向机构，所述转向机构设置在所述分片机构的终点处，所述转向机构包括弧形的转向输送带，所述转向输送带的终点水平设置；输出机构，所述输出机构设置在所述转向机构的终点处，所述输出机构包括输出输送带。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 常州捷佳创精密机械有限公司 一种水下分片模组
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