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申请/专利权人：天津环博科技有限责任公司

摘要：本发明创造提供了一种硅片移栽设备，包括机架、机械手、笼型夹爪，笼型夹爪包括固定板、通过第一驱动组件安装在固定板上的第一夹爪、通过第二驱动组件安装在固定板上的第二夹爪；第一驱动组件安装在固定板上方，两组第一夹爪通过第一驱动组件驱动向相反方向运动；两组第二夹爪通过第二驱动组件驱动向相反方向运动，两组第一夹爪与两组第二夹爪的运行方向相交实现四周夹紧。本发明创造所述的一种硅片移栽设备，移栽机械手伸入到料框内，进行捞取动作；移栽机械手的夹爪为笼型，两组第一夹爪、两组第二夹爪配合夹取防止硅片进行倾斜，两组第一夹爪下侧托板托住硅片底部，此结构在运输硅片中对夹取的硅片起到了稳定性效果，对硅片起到了更好的保护。

主权项：1.一种硅片移栽设备，包括机架1、安装在机架1上的机械手2、以及安装在机械手2上的笼型夹爪3，其特征在于：所述笼型夹爪3包括固定板31、通过第一驱动组件安装在固定板31上的第一夹爪6、通过第二驱动组件安装在固定板31上的第二夹爪7；所述第一驱动组件安装在固定板31上方，所述第一夹爪6设有两组，两组第一夹爪6贯穿固定板31后与第一驱动组件连接，两组第一夹爪6通过第一驱动组件驱动向相反方向运动；所述第二驱动组件安装在固定板31下方，所述第二夹爪7设有两组，两组第二夹爪7与第二驱动组件连接，两组第二夹爪7通过第二驱动组件驱动向相反方向运动，两组第一夹爪6与两组第二夹爪7的运行方向相交;所述固定板31两侧对称设有两个齿轮安装座313，所述第一驱动组件包括第一齿轮41、第二齿轮42、第一传送带、第一电机4，第一齿轮41、第二齿轮42对称安装在两个齿轮安装座313上，第一齿轮41与第二齿轮42之间通过第一传送带连接，所述第一电机4安装在第一齿轮41上方，第一电机4转轴与第一齿轮41转动连接；其中一个第一夹爪6贯穿固定板31后与第一齿轮41、第二齿轮42一侧的传送带连接，另一个第一夹爪6贯穿固定板31后与第一齿轮41、第二齿轮42另一侧的传送带连接；所述第二驱动组件包括第三齿轮51、第四齿轮52、第二传送带53、第二电机5，第三齿轮51、第四齿轮52对称安装在固定板31底部，所述固定板31设有凸台，凸台上设有矩形槽，第二传动带两端贯穿矩形槽与第三齿轮51、第四齿轮52进行连接，第三齿轮51与第四齿轮52之间通过第二传送带53连接，所述第二电机5转轴贯穿固定板31后与第三齿轮51进行连接；固定板31侧壁上开有两个通槽，两个通槽内安装有两个第二滑轨312，固定板31底部设有移动槽与通槽相通，两组第二夹爪7顶部分别设有第二安装板，其中一个第二安装板上对称设有两个第二滑块71，两个第二滑块71分别贯穿移动槽后与两个第二滑轨312连接，另一个第二安装板上对称设有两个第三滑块72，两个第三滑块72分别与两个第二滑轨312连接，两个第二安装板相对安装。

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