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申请/专利权人:滁州捷泰新能源科技有限公司
摘要:本申请涉及电池片生产技术领域,提供一种分片设备及分片方法。分片设备用于ALD制程的双插工艺中,包括铝舟和风刀装置。铝舟包括托杆,托杆沿其中心轴线方向分布有若干插放槽,插放槽的槽底具有分隔凸起,分隔凸起将槽底分隔成第一插槽和第二插槽;风刀装置包括出气机构和驱动机构,驱动机构用于驱动出气机构沿托杆的中心轴线方向移动,出气机构用于将每一插放槽中的两电池片分别吹到第一插槽和第二插槽。本申请提供的分片设备通过将一个插放槽中的两电池片分隔到第一插槽和第二插槽中,ALD镀膜过程中有效避免一个插放槽中的两电池片紧密贴合而导致电池片表面镀膜的厚度不均匀,有效保障电池片的生产质量。
主权项:1.一种分片设备,其特征在于,用于ALD制程的双插工艺中,所述分片设备包括:铝舟,包括托杆,所述托杆沿其中心轴线方向分布有若干插放槽,所述插放槽的槽底具有分隔凸起,所述分隔凸起将所述槽底分隔成第一插槽和第二插槽;风刀装置,包括出气机构和驱动机构,所述驱动机构用于驱动所述出气机构沿所述托杆的中心轴线方向移动,所述出气机构用于将每一所述插放槽中的两电池片分别吹到所述第一插槽和所述第二插槽。
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