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摘要：本申请公开一种薄膜体声波谐振器及电气产品，涉及谐振器技术领域。该谐振器包括：第一衬底，其第一表面开设有第一凹槽，所述第一凹槽内具有一第一支撑结构；三明治结构，包括：设置于所述第一支撑结构上的第一电极、设置于所述第一电极背向所述第一支撑结构的一侧表面的压电薄膜以及设置于所述压电薄膜背向所述第一电极的一侧表面的第二电极；所述第一电极、所述压电薄膜以及所述第二电极的边缘悬空设置。本申请的三明治结构与支撑结构近似单点接触，不存在边缘搭接情况，可显著降低应力传导导致的谐振频率变化，减少声能流失，提高谐振器的Q值。
主权项：1.一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述谐振器包括：第一衬底，其第一表面开设有第一凹槽，所述第一凹槽内具有一第一支撑结构；三明治结构，包括：设置于所述第一支撑结构上的第一电极、设置于所述第一电极背向所述第一支撑结构的一侧表面的压电薄膜以及设置于所述压电薄膜背向所述第一电极的一侧表面的第二电极；所述第一电极、所述压电薄膜以及所述第二电极的边缘悬空设置。
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百度查询： 天津大学 薄膜体声波谐振器及电气产品
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